LCOS-SLMに関する特性

時間応答特性

定義

2πの位相差を遷移(10 %~90 %)する際の時間応答特性において、画素値を大きい値から小さい値に変化させたときの遷移時間を上昇時間、小さい値から大きい値に変化させたときの遷移時間を下降時間と定義します。8ビットの画素階調値と対応させると、画素値ゼロのときに電圧値は最大で、画素値が増えると電圧値が下がるようにコントローラが設定されています。

測定方法

位相変調を強度変調として観測するクロスニコル光学系( 位相変調特性を参照 )において、出力光量の変化をフォトダイオードとオシロスコープで測定します。位相 0と2πを切り替えたときの出力光量変化を測定し、光量変化を位相変化に変換し、10 %~90 %の遷移にかかる上昇/下降時間を算出します。一例として、X15213-03Bの時間応答特性を図に示します。

位相変調特性の測定系(クロスニコル光学系)

位相変調特性の測定系(クロスニコル光学系)

時間応答特性(X15213-03B, 代表例)

時間応答特性 出力光強度

時間応答特性 位相変調量

測定結果

各ラインアップの上昇時間・下降時間の平均値は以下の通りです。上昇時間の方が速い傾向にあります。

応答速度の評価結果(平均値)

型名

広波長帯域タイプ

特定波長向けタイプ 

-01

-07

-08

-02

-03B

-05

-12

-13

-15

-16

-19

光源の波長(nm)

633

1064

1550

785

1064

405

940

532

1550

532

1950

上昇時間(ms)

5

9

13

33

27

7

38

10

26

11

30

下降時間(ms)

21

73

145

85

83

17

109

21

135

33

155

型名

高出力レーザ向けタイプ 

レーザ金属加工向けタイプ 

-02L/-02R

-03BL/-03BR

-12L/-12R

-15L/-15R

-16L/-16R

-19L/-19R

-03CL/-03CR

光源の波長(nm)

785

1064

940

1550

532

1950

1064

上昇時間(ms)

33

27

38

26

11

30

27

下降時間(ms)

85

83

109

135

33

155

83

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