空間光制御技術の研究・開発

高精度・高スループットレーザー加工のための空間光制御技術開発

実施期間:2018年度~2022年度

従来のレーザ加工は微細で高品質な加工ができる一方で、加工スループットが低いというボトルネックがありました。この課題を解決するために、レーザ光を並列化して加工を高速化する手法がありますが、これを実現するためには、高出力なレーザを制御できるデバイスが必要となります。そこで本プロジェクトでは、重要なキーデバイスである、光の2次元位相分布を高精度に制御可能な空間光制御デバイスの開発と、これを用いた高精度かつ高スループットな加工を実現する空間光制御技術の実用化を目標としました。また、デジタルフィードバック技術を実装することで、製造工程において高精度化と高安定化を両立する基盤技術の実現も目指しました。

本研究は、内閣府総合科学技術・イノベーション会議の戦略的イノベーション創造プログラム(SIP)「光・量子を活用したSociety 5.0実現化技術」(管理法人 : QST)の研究テーマのひとつ「レーザー加工/空間光制御技術開発」によって実施されました。

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