LCOS-SLMに関する特性

面精度

定義

LCOS-SLMの有効画素領域(15.9 mm× 12.8 mm)の面歪量について、最も高いところと低いところの差(最大変位量)をPV(peak to valley)値として、そのばらつきをRMS値として評価します。

測定方法

図のような、入射光の偏光方向と液晶分子の配向方向を一致させた位相変調光学系において、LCOS-SLMと参照ミラーとの間の干渉縞を取得します。その干渉縞から、フーリエ変換にて位相分布を計算し面精度を算出します。干渉縞と算出された面精度の測定例を示します。面精度の測定例(b)の面精度形状においては、8ビット階調値 0~255で、1波長に対応する位相差を示しています。LCOS-SLMの位相変調量は波長によって異なるため、ラインアップのそれぞれについて代表的な光源の波長において評価した結果を紹介します。

面精度の測定系

面精度の測定系

面精度の測定例

面精度の測定例

測定結果

各ラインアップの面精度の評価結果を表に示します。算出された面形状データにおいて、PV値とRMS値を平均してまとめました。ソフトウエアには面形状の補正機能が付いており、補正時にはPV値でλ/20以下の特性が得られます。

面精度の評価結果(平均値の代表例)

型名

広波長帯域タイプ

特定波長向けタイプ

高出力レーザ向けタイプ

レーザ金属加工向けタイプ

-01

-07

-08

-02

-03B

-05

-13

-16

-02L/
-02R

-03BL/
-03BR

-16L/
-16R

-03CL/
-03CR

光源の波長(nm)

633

1064

1064

785

1064

407

532

532

785

1064

532

1064

PV値

1.8λ

1.7λ

1.3λ

3.1λ

2.3λ

3.0λ

3.2λ

2.0λ

3.1λ

2.3λ

2.0λ

2.3λ

RMS値

0.4λ

0.4λ

0.3λ

0.6λ

0.5λ

0.5λ

0.7λ

0.4λ

0.6λ

0.5λ

0.4λ

0.5λ

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