LCOS-SLMとは

他の光制御方式との違い

LCOS-SLMは光の位相をコントロールすることで、光を制御する方式ですが、産業用途ではLCOS-SLM以外にも様々な光を制御する方式が用いられています。

  多点同時/スキャン ビーム形状の変更 収差補正 パターン切り替え 加工領域
LCOS-SLM

多点同時

可能

可能

可変

微細な領域

ガルバノスキャナ

スキャン

不可能

不可能

可変

広域

DOE

多点同時

可能

可能

固定

微細な領域

MEMSミラー

スキャン

不可能

不可能

可変

広域

各種レンズ
(シリンドリカルレンズなど)

多点同時

可能

不可能

固定

微細な領域

代表的なガルバノスキャナとLCOS-SLMの違いについて詳しく解説します。

ガルバノスキャナ

光を反射するガルバノミラーを使用してレーザ光を走査させる方式です。制御プログラムによってミラーの向きを物理的に変えることで、レーザ光の照射位置をX・Y方向に動かすことが可能です。制御プログラムによってレーザ光の走査を柔軟に変更することができ、広い範囲で照射位置を動かす場合に適していますが、物理的にミラーの向きを制御するため精度に限界があります。また、照射位置の深さはレンズによって決まってしまうため、3次元的な照射には向いていません。

LCOS-SLM

ミラーなどを物理的に動かしてレーザ照射位置を制御する方法とは異なり、レーザ光の照射パターンそのものを電気的に変化させます。数μm単位で照射位置を制御できるため、非常に高精度であることが特長です。

また、照射したい形状に合わせてビームパターンを変化させて一括で照射したり、照射位置を多点に分岐させたりすることが可能です。照射位置を深さ方向で制御することもできるため、対象物の内部も含めた3次元的な照射を一度に行うことができます。

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